Die Feinstreinigung entfernt Verunreinigungen oder Kontaminationen von verschiedenen Oberflächen mithilfe von Partikel- oder Strukturgröße im sub-μm-Bereich. Falls nicht gewünschte Substanzen, beispielsweise Rauigkeit hervorrufen, elektrische, optische oder chemische Eigenschaften von Oberflächen unerwünscht verändern, kann eine Feinstreinigung zum Einsatz kommen.
